问题描述:
[多选]
湿法蚀刻具有以下哪些缺点()。
A.化学药品处理时人员会遭遇的安全问题
B.反应溶液及去离子水需花费较高成本
C.光刻胶会产生附着性问题
D.蚀刻不均匀
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