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[问答]
解释什么是暗场掩模板。
[问答]
例举双大马士革金属化过程的10个步骤。
[问答]
什么是硅化物?难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么?
[问答]
解释铝已经被选择作为微芯片互连金属的原因。
[问答]
例举并描述金属用于硅片制造的7种要求。
[问答]
例举并描述薄膜生长的三个阶段。
[问答]
什么是薄膜?例举并描述可接受的薄膜的8个特性。
[问答]
立式炉系统的五部分是什么?例举并简单描述?
[问答]
影响氧化速度的因素有哪些?
[问答]
说明水汽氧化的化学反应,水汽氧化与干氧氧化相比速度是快还是慢?为什么?
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