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[单选]扩散后的硅片，发现外观出现严重色斑，其异常处理方式为（）。
[单选]扩散炉在停用过程中，必须长时间保持充（）状态。
[多选]接班时应当（）。
[多选]扩散工序中三氯氧磷的安全使用应注意哪几项？
[单选]源瓶外观脏污严重时，不需要更换新源瓶。（）
[单选]本车间使用扩散机器厂家捷佳纬创、48所。（）
[单选]为了提升产能，可以随意更改机台参数。（）
[单选]舟脏污会造成扩散后氧化发蓝。（）
[单选]更换新源瓶后需做鼓泡实验确认通源正常。（）
[单选]清洗后的石英舟使用前需作饱和工艺，目的是避免第一次使用时影响方块电阻与刚洗完舟污染硅片造成的返工。（）
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