问题描述:
[多选]
APTK13 Coater PR pump 状态一直不稳定,容易发生Coating NG 风险,目前执行的预防措施是()
A.定期对LC PR Pump进行原点复位
B.宏观及时监控,同时在原点复位时,动作前确认实际涂布状态
C.定期机台涂布静电液,消除静电积累
D.PR Fillter 定期更换,避免PR堵塞导致Pump异常
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