问题描述：
[多选]
晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。
A．除去光刻胶中剩余的溶剂
B．增强光刻胶对晶片表面的附着力
C．提高光刻胶的抗刻蚀能力
D．有利于以后的去胶工序
E．减少光刻胶的缺陷
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