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问题描述:

[多选] 8寸_8V APTK11 SDT Mask 由于Coater Recipe 使用错误,导致Recipe与基板实际的厚度不匹配,产生Coating NG, 影响产品良率,针对该问题,目前的管控措施是()
A.担当定期对Recipe进行CHECK 3个月一次 B.如果设备主控台升级,需要更改或调整写入Recipe相关内容,需要现场Double Check机制 C.Recipe方便生产,每人都可以随时更改 D.Recipe设备间可以直接互相Cope,便于快速直接使用
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