当前位置:百科知识 > 集成电路制造工艺员(三级)试题

问题描述:

[单选] 下列几种氧化方法相比,哪种方法制得的二氧化硅薄膜的电阻率会高些()。
A.干氧氧化 B.湿氧氧化 C.水汽氧化 D.与氧化方法无关
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