问题描述：
[多选]
影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面（）。
A．等离子体蚀刻系统的形态
B．等离子体蚀刻的参数
C．光刻胶
D．待蚀刻薄膜的淀积参数条件
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