问题描述：
[多选]
APTK12 6．34_S0 SD Mask监控到圆形Open，LC 设备SD Rework之后的Lot，发生圆形OPEN的概率很高，原因正在研究中；目前临时管控方案：
A．1.DIPI添加外围自动扫描监控,外围Open发生率
B．2.减少LC设备GATE. SD 批次Rework ；
C．3.Cleaner TMAH SD Mask 禁止屏蔽
D．4.Coater 入口离子风机禁止关闭
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