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问题描述:

[单选] 扩散后的一批硅片,发现仅炉口处硅片方块电阻偏大,其异常处理方式为()。
A.将整批硅片统一进行重新扩散。 B.将整批硅片统一进行重新制绒。 C.将方块电阻异常片直接流入下道工序。 D.将炉口方块电阻偏大区域的硅片挑出,返工处理;其余正常流入下道工序。
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