问题描述：
[多选]
一般来说，溅射镀膜的过程包括（）这几步。
A．产生一个离子并导向靶
B．被轰击的原子向硅晶片运动
C．离子把靶上的原子轰出来
D．经过加速电场加速
E．原子在硅晶片表面凝结
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