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[多选]下列属于传感器分类的是（）

[单选]HF擦拭皮带后直接开机生产

[单选]生产员工允许更改工艺参数

[单选]制绒机台共计14个槽

[单选]制绒机台有两个制绒槽

[单选]刻蚀设备上电开机时：厂务纯水管路先开进水管路后开回水管路

[单选]刻蚀工序刻蚀槽HSO4作用是参与工艺反应，快速提升刻蚀速率

[单选]刻蚀擦拭皮带用纯水直接擦拭

[单选]刻蚀主机台换完水碱后不必跑假片

[单选]刻蚀下料机皮带擦拭需要用酒精布擦拭

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