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[问答]
二氧化硅结构中的氧原子可分为哪几种?
[问答]
什么是外延层?为什么在硅片上使用外延层?
[问答]
外延工艺按方法可分为哪些?
[问答]
按制备时有无使用坩埚分为两类,有坩埚分为?无坩埚分为?
[问答]
一定温度,杂质在晶体中具有最大平衡浓度,这一平衡浓度就称为什么?
[单选]
正常凝固是最宽熔区的区域提纯,在进行第一次熔化过后,能不能进入第二次提纯这个阶段().
[单选]
当晶体生长的较快,内坩埚中杂质量变少,晶体的电阻率().
[单选]
制备单晶硅薄膜方面的主要工艺方法是().
[单选]
下列铸造多晶硅的制备方法中,()没有坩埚的消耗,降低了成本,同时又可减少杂质污染长度。
[单选]
列多晶硅生长过程中需要通入氩气做保护气的是().
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