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集成电路制造工艺员(三级)试题
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[单选]
He,OH,Na等元素在900℃下,在二氧化硅中的扩散率大于10-13cm2/s,这些元素称为()。
[单选]
如果磷在二氧化硅中扩散,对扩散率影响最大的因素是:()。
[单选]
用电容-电压技术来测量扩散剖面分布是用了()的原理。
[单选]
在确定扩散率的实验中,扩散层电阻的测量可以用()测量。
[单选]
在确定扩散率的测结深实验中,结深的测量是采用HF和()的混和液对磨斜角进行化学染色的。
[单选]
我们可以通过简单的结深测量和()测量来获得扩散层的重要信息。
[单选]
恒定表面浓度的条件下,在整个扩散期间,()保持恒定表面浓度。
[单选]
一般分析扩散系数,考虑两种条件,即恒定表面浓度条件和()。
[单选]
菲克一维扩散定律公式中的J是代表单位面积溶质()。
[单选]
在空位扩散中,如果迁移的空位的原子是杂质原子,扩散称为()。
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