问题描述：
[多选]
干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。
A．生长的二氧化硅薄膜均匀性好
B．生长的二氧化硅干燥
C．生长的二氧化硅结构致密
D．生长的二氧化硅是很理想的钝化膜
E．生长的二氧化硅掩蔽能力强
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