当前位置:百科知识 > 集成电路制造工艺员(三级)试题

问题描述:

[多选] 解决氧化层中的钠离子沾污的方法有()。
A.加强工艺操作 B.加强人体和环境卫生 C.使用高纯化学试剂、高纯水和超净设备 D.采用HCl氧化工艺 E.硅片清洗后,要充分烘干,表面无水迹
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