问题描述:
[多选]
解决氧化层中的钠离子沾污的方法有()。
A.加强工艺操作
B.加强人体和环境卫生
C.使用高纯化学试剂、高纯水和超净设备
D.采用HCl氧化工艺
E.硅片清洗后,要充分烘干,表面无水迹
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