问题描述：
[多选]
二氧化硅膜的质量要求有（）。
A．薄膜表面无斑点
B．薄膜中的带电离子含量符合要求
C．薄膜表面无针孔
D．薄膜的厚度达到规定指标
E．薄膜厚度均匀，结构致密
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