当前位置:百科知识 > 集成电路制造工艺员(三级)试题

问题描述:

[单选] 在VLSI工艺中,常用的前烘方法是()。
A.热空气对流法 B.真空热平板传导法 C.红外线辐射法 D.射频感应加热法
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