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问题描述:

[单选] APTK14 3.96_V4 Gate 过程内维修发现GO, 发生位置在KLM (A对面长边),发生原因:IF Buffer堆积后,设备前端某些单元会停留,导致单元TT长,影响工艺,导致产品不良;当IF 堆满后,设备前端玻璃停留的单元是()
A.SB CP内停留 B.VCD 完成后,在VCD 出口停留 C.Cleaner AK D.DB In Buffer & CP &OUT Buffer&Exit
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