问题描述:
[单选]
膜层脱落,目前主要发生在SD (MO/AL/MO)结构上,产生机理工艺设计问题;RW 后该膜层脱落会导致脱落于Cleaner 单元,导致Remain风险; 如果DIPI 监控到大量膜层脱落现象,设备端可以清洁(),减少脱落对产品和PI抓图效果影响
A.Coater SC 大圈
B.显影AK 后滚轮
C.DB CP
D.Cleaner AK 气刀
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