问题描述：
[单选]
光刻的主要工艺流程按照操作顺序是（）。
A．涂胶、前烘、曝光、坚膜、显影、去胶
B．涂胶、前烘、坚膜、曝光、显影、去胶
C．涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、去胶
D．前烘、涂胶、曝光、坚膜、显影、去胶
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