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[单选]
离子束的引出系统的间接引出系统中,阳极和插入电极之间形成一个离子密度较()的等离子体。
[单选]
引出系统要求能引出分散性较好的强束流,还希望具有较()的气阻。
[单选]
离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成()离子,并通过一个引出系统形成离子束。
[单选]
在各种离子源常用的放电方式中,EOS是指有()。
[单选]
离子注入装置的主要部件有()、分析器、加速聚焦系统等。
[单选]
早期,研究离子注入技术是用()来进行的。
[单选]
()的气体源中一般包含H,C,B,Cl,O等离子。
[单选]
离子源产生的离子在()的加速电场作用下得到加速。
[单选]
Torr是指()的单位。
[单选]
激光退火目前有()激光退火两种。
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