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集成电路制造工艺员(三级)试题
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[单选]
离子从进入靶起到停止点所通过的总路程称作()。
[多选]
电荷积分仪的基本单元包括()。
[单选]
如果固体中的原子排列情况是紊乱的,就称之为()。
[单选]
在靶片前方设一抑制栅,作用是将()抑制回去,从而保证测量的准确性。
[单选]
一般用()测量注入的剂量。
[单选]
在实际工作中,常常需要知道离子注入层内损伤量按()的分布情况。
[单选]
降低靶的温度,有利于非晶层的形成,所以临界注入量随之()。
[单选]
晶体中,每个原子在晶格中有一定的平衡位置,原子在此位置时其势能为()。
[单选]
离子源腔体中的气体放电形成()而引出正离子的。
[多选]
半导体芯片生产中,离子注入主要是用来()。
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