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[单选]1．5_1V客户端发现无显不良，设备端调查，发现SDMASKAPTK10显影单元有报警产生，影响2张玻璃，导致产品流出到客户端；针对该Issue发生漏出到客户端根本原因是（）

[多选]8寸_8VAPTK11SDTMask由于CoaterRecipe使用错误，导致Recipe与基板实际的厚度不匹配，产生CoatingNG，影响产品良率，针对该问题，目前的管控措施是（）

[单选]针对特殊ACTRemain，目前TRACK设备，Q1主要是在APTK06发生，针对固定APTK06设备发生的特殊ACTRemain发生在GLASS上的位置在（）集中性强

[多选]APTK13CoaterPRpump状态一直不稳定，容易发生CoatingNG风险，目前执行的预防措施是（）

[多选]APTK01由于PR流量报警，进行更换PRFillter更换，更换后，DIPI加测，Particle高发；与PR跟换的时间节点吻合，判断为PRFillter更换导致；针对CoaterPRFIllter更换时，需要关注的2个问题点是（）

[单选]针对EPDSDTGTBridgeQ1发生率比较高，目前管控模式，依据AA区内部进行KMAC值管控，同步进行ATLOT全检，由于AT无法测试SWitch区域的GTBridge，导致客户端返品多次，均为该Switch区域GTBridge，从2023．03中旬，开始增加EPDSwtich区域监控，如果高发，可以进行标记Mark；目前是通过（）设备可以自动监控出外围SwitchGTBridge

[单选]针对ESD不良，目前TRACK主要通过XRAY方式进行改善，确保XRAY的使用效果，针对XRAY的管控方面，目前每日进行点检，如果发现设备XRAY超时报警，需要进行及时更换，目前设备端XRAY的使用时间（）H，超过该时间XRAYHead就会报警

[单选]APTK143．96_V4Gate过程内维修发现GO，发生位置在KLM（A对面长边），发生原因：IFBuffer堆积后，设备前端某些单元会停留，导致单元TT长，影响工艺，导致产品不良；当IF堆满后，设备前端玻璃停留的单元是（）

[单选]膜层脱落，目前主要发生在SD（MO/AL/MO）结构上，产生机理工艺设计问题；RW后该膜层脱落会导致脱落于Cleaner单元，导致Remain风险；如果DIPI监控到大量膜层脱落现象，设备端可以清洁（），减少脱落对产品和PI抓图效果影响

[单选]当设备报警或过程监控，发现产品异常，需要进行批次Rework时，当Rework影响Lot数量达到（）个时，需要提前汇报领导后，在进行Rework处理

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